陶瓷結(jié)晶材料在表面上存在有很多晶格缺陷，去除表面原子所需能量比破壞材料原子結(jié)合所需的能量小得多，強(qiáng)度高的物質(zhì)表面凸出部分原子更易被強(qiáng)度低的粒子沖擊而被去除?？梢詫?shí)現(xiàn)用軟質(zhì)粒子來(lái)加工硬質(zhì)材料，并且硬質(zhì)材料也不會(huì)因?yàn)榱Φ淖饔冒l(fā)生塑性變形而產(chǎn)生品格錯(cuò)位或缺陷。浮動(dòng)拋光是使用平面度很高并帶有同心圓或螺旋溝槽的錫拋光盤(pán)、高回轉(zhuǎn)精度的拋光機(jī)，將拋光液覆蓋在整個(gè)陶瓷拋光盤(pán)表面上，使拋光盤(pán)及工件相對(duì)高速回轉(zhuǎn)，在二者之間拋光液呈動(dòng)壓流體狀態(tài)，使工件懸浮在拋光盤(pán)上并獲得極高平面度的非接觸超精密拋光方法。浮動(dòng)拋光技術(shù)可獲得高精度表面，加工后表面沒(méi)有殘余應(yīng)力，不影響材料表面磁特性。主要應(yīng)用于高密度的VTR(video tape recorder)磁頭、計(jì)算機(jī)磁頭的磁隙面和滑動(dòng)面、激光器中光學(xué)陶瓷零件加工。